[实用新型]一种连续式真空镀膜装置有效
| 申请号： | 202120825530.5 | 申请日： | 2021-04-21 |
| 公开（公告）号： | CN215757592U | 公开（公告）日： | 2022-02-08 |
| 发明（设计）人： | 韩秀全;李军明 | 申请（专利权）人： | 青岛德耐纳米科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56 |
| 代理公司： | 山东重诺律师事务所 37228 | 代理人： | 任启明 |
| 地址： | 266000 山东省青岛市高新区新*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及真空镀膜技术领域，具体为一种连续式真空镀膜装置，包括真空箱，真空箱的一端安装在有净化装置和气化镀层装置，真空箱的另一侧设置有夹具工装，真空箱的上端设置有真空泵，有益效果为：本实用新型通过设置带有密封滑动板的真空箱，配合升降柱的上下升降，从而在进行工序切换时可实现对真空环境的保护，达到在不破坏真空环境的前提下实现工序的切换；通过设置液压缸带动的三组工装夹具，从而避免真空箱内腔在进行工件装夹或拆卸时与外界的连通，实现连续式真空镀膜的目的，配合限位板上滑块的配合，使得夹具位置切换更加平稳，配合密封插槽的位置限定，防止脱落，提高了切换的安全性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 连续 真空镀膜 装置 | ||
【主权项】：
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