[实用新型]一种有机复合靶材冷却装置

摘要

本实用新型公开了一种有机复合靶材冷却装置，包括机架、设置在机架顶部的冷却平台以及吹风部件，吹风部件固定在冷却平台的下方，所述冷却平台上设有多组间隔布置的置物滚轴，置物滚轴沿冷却平台长度方向布置并枢接于冷却平台的内壁，每组置物滚轴设有两根，并间隔设置，所述置物滚轴通过驱动件驱动自转，吹风装置的风口朝向每组的两根置物滚轴的间隔处。本实用新型中每组的两个置物滚轴进行转动时，可带动靶材进行转动而克服冷却的盲区，进而使得靶材上的所有位置都能够与冷风直接接触，并在靶材正上方设置散热架，通过循环水冷的方式，不断将热风进行冷却，同时配合底部呈弧形的金属散热架，进一步促进热空气的循环，加速靶材上热量的散失。