[实用新型]一种自动出料型晶圆冲洗真空干燥机有效
| 申请号： | 202120897984.3 | 申请日： | 2021-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN215113544U | 公开（公告）日： | 2021-12-10 |
| 发明（设计）人： | 涂辉 | 申请（专利权）人： | 谷微半导体科技（江苏）有限公司 |
| 主分类号： | F26B5/04 | 分类号： | F26B5/04;F26B9/06;F26B21/14;F26B25/06;B08B3/02;B08B11/00 |
| 代理公司： | 苏州市方略专利代理事务所(普通合伙) 32267 | 代理人： | 王春云 |
| 地址： | 226299 江苏省南通市开发区*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种自动出料型晶圆冲洗真空干燥机，包括：固定腔体、转子、晶圆盒、伺服电机和取料机构，固定腔体包括氮气干燥装置、喷水装置、抽真空机构和静电消除器，氮气干燥装置设于腔体上的氮气喷口，喷水装置设于腔体上的喷水口，抽真空机构与腔体的抽气口连接，静电消除器设于腔体的表面；转子设于固定腔体的内部，晶圆盒设于转子内，伺服电机设于固定腔体的一侧，伺服电机输出端与转子连接，取料机构设于固定腔体的一侧，转子靠近取料机构一端设于至少一个穿孔，本实用新型采用低转速常温氮气的方式对晶圆进行真空干燥，减少晶圆受到高转速冲击的可能，降低清洗破损率；取料机构让其实现自动取料，提高生产效率，也提高了晶圆清洁度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 自动 出料型晶圆 冲洗 真空 干燥机 | ||
【主权项】：
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