[实用新型]一种冷却收尘装置及气相沉积炉系统有效
申请号: | 202120907697.6 | 申请日: | 2021-04-28 |
公开(公告)号: | CN215887220U | 公开(公告)日: | 2022-02-22 |
发明(设计)人: | 余明;朱刘;李房斌;于金凤 | 申请(专利权)人: | 广东先导微电子科技有限公司 |
主分类号: | C23C16/34 | 分类号: | C23C16/34;C23C16/44 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 韩静粉 |
地址: | 511517 广东省*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种冷却收尘装置及气相沉积炉系统,冷却收尘装置包括封闭腔体、折行挡板和水冷挡板;封闭腔体的侧壁底端开设有进气口,进气口与气相沉淀炉的排气口导通连接;封闭腔体的侧壁顶端开设有出气口,出气口与真空系统的入口导通连接;水冷挡板和折行挡板沿着进气口到出气口的方向依次交错设置在封闭腔体内,水冷挡板内设有水冷通道,封闭腔体的腔体壁内设置有水冷夹层。真空系统启动,将气相沉淀炉排出的高温气体泵出,高温气体在经过封闭腔体内时,与内部带有水冷的水冷挡板接触,打散,再与封闭腔体的水冷夹层相互接触,可以快速将气体温度冷却下来,通过折行挡板,形成的粉末沉降下来而不会带到真空系统,保护了真空系统。 | ||
搜索关键词: | 一种 冷却 收尘 装置 沉积 系统 | ||
【主权项】:
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的