[实用新型]一种晶圆去胶机便于安装的滤芯

摘要

本实用新型涉及半导体清洗设备领域，具体为一种晶圆去胶机便于安装的滤芯，包括滤芯本体、铰链、顶盖和固定块，所述固定块的一侧开设有螺纹孔，所述螺纹孔的内部活动连接有螺栓组件，所述顶盖的内壁开设有卡接球槽，所述顶盖的内部活动连接有第一连接头，所述第一连接头的表面设置有卡接滚球。通过设置的顶盖、卡接球槽、第一连接头、卡接滚球、进水管、连接座、连接槽、第二连接头和出水管可以实现对滤芯设备整体的快速拆卸与安装，在实际的使用过程中，工作首先将进水管通过第一连接头与顶盖进行快速的连接操作，在安装时，第一连接头上的卡接滚球会直接与顶盖内壁的卡接球槽进行稳定的卡合操作。