[实用新型]一种平面靶材专用离子镀膜装置有效
| 申请号： | 202120931702.7 | 申请日： | 2021-04-30 |
| 公开（公告）号： | CN214782105U | 公开（公告）日： | 2021-11-19 |
| 发明（设计）人： | 王雷;田伟 | 申请（专利权）人： | 南通安泰新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32;C23C14/56 |
| 代理公司： | 北京纽盟知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11456 | 代理人： | 许玉顺 |
| 地址： | 226000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种平面靶材专用离子镀膜装置，包括镀膜反应箱，所述镀膜反应箱的一侧设有上料口，所述上料口上设有电磁门锁，所述电磁门锁的外侧设有把手，所述镀膜反应箱的内部的上端设有阴极固定机构，所述镀膜反应箱的内部的下端设有离子发生阳极机构，所述镀膜反应箱外侧的底部设有真空泵，所述真空泵通过真空管道连接镀膜反应箱内部，本实用新型结构简单，设计新颖，特设的电磁门锁能够将上料口进行密封，有效的提高了离子镀膜装置在工作过程中密封性能，从而杜绝了镀膜前驱物逸散于大气中，而造成镀膜前驱物浪费。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 平面 专用 离子 镀膜 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于南通安泰新材料科技有限公司，未经南通安泰新材料科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202120931702.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种带有调光膜控制功能的频闪灯
- 下一篇：一种电镀原版存储装置
- 同类专利
- 专利分类
