[实用新型]一种平面溅射靶材有效
| 申请号： | 202120932884.X | 申请日： | 2021-04-30 |
| 公开（公告）号： | CN214830635U | 公开（公告）日： | 2021-11-23 |
| 发明（设计）人： | 王雷;田伟 | 申请（专利权）人： | 南通安泰新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京纽盟知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11456 | 代理人： | 许玉顺 |
| 地址： | 226000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种平面溅射靶材，包括主板，所述主板的两侧设有延伸板，两侧所述延伸板的侧边设有长条形凹槽，所述长条形凹槽内设有多个伸缩杆，多个所述伸缩杆均连接着安装板的底部，所述安装板嵌于凹槽内，多个所述伸缩杆上均套有弹簧，所述弹簧的两端分别固定在凹槽底部和安装板底部，所述安装板上设有多个安装孔；本实用新型结构简单，设计新颖，特设的安装板能够方便快捷的将平面溅射靶材装配至溅射基台，特设的延伸板能够将安装板进行拉伸，已用于匹配不同大小的溅射基台。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 平面 溅射 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于南通安泰新材料科技有限公司，未经南通安泰新材料科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202120932884.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
