[实用新型]一种半导体晶元检测及除尘设备有效
| 申请号： | 202120954152.0 | 申请日： | 2021-05-07 |
| 公开（公告）号： | CN215391317U | 公开（公告）日： | 2022-01-04 |
| 发明（设计）人： | 张舞杰;邓锦飞 | 申请（专利权）人： | 东莞市睿华智能科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B7/00 | 分类号： | B08B7/00;B08B13/00;H01L21/67;B07C5/36 |
| 代理公司： | 广州恒华智信知识产权代理事务所(普通合伙) 44299 | 代理人： | 姜宗华 |
| 地址： | 523808 广东省东莞市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种半导体晶元检测及除尘设备，包括：机箱(1)、进料机构(2)、承接机构(3)、水平滑台(4)、检测机构(5)、机械手(6)、供应机构(7)、回收机构(8)和卸料机构(9)，水平滑台(4)、检测机构(5)、机械手(6)、供应机构(7)和回收机构(8)都位于机箱(1)的内部，机箱(1)位于进料机构(2)和卸料机构(9)之间，承接机构(3)位于水平滑台(4)上，水平滑台(4)从检测机构(5)延伸至回收机构(8)，机械手(6)位于检测机构(5)与供应机构(7)之间。上述除尘设备不仅可以判断半导体晶元是否有灰尘粘附，并且可以自动对半导体晶元上的灰尘进行除尘操作，大大提高效率，并且保证除尘效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体 检测 除尘 设备 | ||
【主权项】：
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