[实用新型]一种离子注入用多功能样品架

摘要

本实用新型公开了一种离子注入用多功能样品架，包括密封盖，所述密封盖中安装有推拉杆，所述推拉杆一侧设置有螺旋测微器，所述推拉杆远离所述螺旋测微器一侧安装有可加工氮化硼陶瓷棒，所述可加工氮化硼陶瓷棒一侧安装有样品台，所述样品台上均匀分布有四个样品区，所述密封盖一侧安装有真空密封O型圈，所述推拉杆上方设置有束流测量线BNC接头。本实用新型所述的一种离子注入用多功能样品架，通过三个样品分段注入的设置，实现了样品在不停机情况下的离子注入；通过监控和样品的统一设置，监控了离子束注入的剂量，增加了离子注入的一致性；通过样品的多位设置，减少了停机更换，节省了资源，提高了实验效率。