[实用新型]菲林玻璃光罩有效
| 申请号： | 202120980152.8 | 申请日： | 2021-05-08 |
| 公开（公告）号： | CN214954514U | 公开（公告）日： | 2021-11-30 |
| 发明（设计）人： | 伍佩铭;许迪;董鹏程;高辉;孙胜延;杨艳 | 申请（专利权）人： | 坤元光电（东莞）有限公司;乾宇电子材料（深圳）有限公司;乾宇电子材料（东莞）有限公司;乾宇电子材料（苏州）有限公司;乾业科技发展（东莞）有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 深圳市恒程创新知识产权代理有限公司 44542 | 代理人： | 苗广冬 |
| 地址： | 523000 广东省东莞市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型提出一种菲林玻璃光罩，包括玻璃基板、菲林片以及折射镜，所述玻璃基板包括相互背对的入光面和出光面；所述菲林片贴设于所述出光面，所述菲林片包括透光区和遮光区；所述折射镜设于所述菲林片的背离所述玻璃基板的一侧，所述折射镜于所述菲林片的至少部分投影位于所述透光区内，以使由所述透光区边缘出射的衍射光经过所述折射镜后的出射角度变小。本申请的技术方案，得以提高曝光精度和分辨率。 | ||
| 搜索关键词： | 玻璃 | ||
【主权项】：
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