[实用新型]一种装载台有效
| 申请号： | 202121013367.9 | 申请日： | 2021-05-12 |
| 公开（公告）号： | CN214692137U | 公开（公告）日： | 2021-11-12 |
| 发明（设计）人： | 尹诚诚;刘广齐;刘冬梅;王强;董纯洁 | 申请（专利权）人： | 北京锐洁机器人科技有限公司 |
| 主分类号： | B65G49/06 | 分类号： | B65G49/06;B65G43/08;H01L21/673 |
| 代理公司： | 北京细软智谷知识产权代理有限责任公司 11471 | 代理人： | 梁亚静 |
| 地址： | 102600 北京市大兴区北京经*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种装载台，涉及半导体技术领域，解决了仅适用于单一规格晶圆盒，不兼容，机动性差的技术问题。该装载台，包括机架和定位治具，机架，作为承载结构，顶部设置有用于放置晶圆盒的片盒平台；定位治具，设置在片盒平台上，数量为至少两套，每套定位治具的规格不同，用以分别定位不同规格的晶圆盒；还包括片盒自动识别传感器、可升降的设置在片盒平台上的Mapping传感器。本实用新型通过设置多套定位治具，分别用于固定不同规格的晶圆盒，使得装载台具有可随时切换不同尺寸晶圆的特点，提高用户的体验，兼容性强，同时减少的结构上的成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 装载 | ||
【主权项】：
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