[实用新型]一种化学机械抛光设备的清洗装置

摘要

本实用新型公开了一种化学机械抛光设备的清洗装置，涉及机械设备及其相关装置技术领域。本实用新型包括上开口框，上开口框的上表面连接有上盖板，上盖板的正上方连接有顶板，顶板的下表面前后两侧对称连接侧竖板，顶板的下表面中部连接有蓄水盒，蓄水盒的下表面一侧中部连通有雾式喷头，雾式喷头的下表面连接有擦洗海绵垫，蓄水盒远离雾式喷头的侧表面中部连通有第二连接管，第二连接管的另一端连通有水泵，水泵的一端连通有第一连接管。本实用新型通过设置侧竖板、雾式喷头和擦洗海绵垫结构，解决了现有的化学机械抛光设备的清洗装置无法防止污渍四处掉落以及直接对化学机械抛光设备进行喷水冲洗的问题。