[实用新型]一种用于晶圆检测的移动载台机构

摘要

本实用新型公开一种用于晶圆检测的移动载台机构，包括底座和载台，所述底座底部设置有万向轮，所述底座内设置有空气压缩机，所述底座远离万向轮一侧设置有伸缩杆，所述伸缩杆上设置有安装平台，所述安装平台上设置有载台，所述载台两侧均设置有气缸，所述气缸上设置有安装板，所述安装板上设置有优力胶板，所述安装板的空槽内壁设置有第一卡槽，所述优力胶板的空槽内壁设置有第二卡槽，所述插柱上设置有转轴，所述转轴上设置有连接杆，所述连接杆上设置有弹簧，所述弹簧上设置有弹性球，通过设置了气缸、安装板等结构使得安装板和优力胶板可快速进行拆卸更换，在一定程度上减轻了工作人员的更换劳动难度。