[实用新型]用于晶片研磨圆盘的支撑治具有效

专利信息
申请号: 202121043339.1 申请日: 2021-05-17
公开(公告)号: CN216577281U 公开(公告)日: 2022-05-24
发明(设计)人: 蔡磊;施鹏 申请(专利权)人: 江苏索尔思通信科技有限公司
主分类号: B24B37/27 分类号: B24B37/27;B24B37/005
代理公司: 北京市领专知识产权代理有限公司 11590 代理人: 林辉轮;张玲
地址: 213200 江苏省常*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型涉及一种用于晶片研磨圆盘的支撑治具,包括底座和上支撑座,所述上支撑座通过支撑件连接所述底座,并位于所述底座的上方,上支撑座构造有若干适配研磨圆盘安装孔的约束部,所述约束部用于可拆卸的约束研磨圆盘;本实用新型所提供的支撑治具,结构简单,使用方便,应用于检测晶片研磨厚度的工艺过程中,不仅可以有效降低钻石点安装过程中掉落的风险,而且有利于提高钻石点的安装精度,从而有效解决现有技术存在的不足。
搜索关键词: 用于 晶片 研磨 圆盘 支撑
【主权项】:
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