[实用新型]小包装高纯电子级化学品灌装装置

摘要

本实用新型公开了小包装高纯电子级化学品灌装装置，包括灌装管，所述灌装管的一端安装有灌装口，所述灌装管的另一端安装有进气口，所述进气口通过进气管与氮气罐连接，所述进气管上安装有气泵，所述灌装管上等距离安装有若干个定量上料组件，所述定量上料组件通过供料管与料罐连接，所述供料管上安装有供料阀，所述灌装管通过导线与控制板连接，所述控制板电性连接气泵和定量上料组件。本实用新型结构新颖，构思巧妙，灌装管上的定量上料组件可分别与不同类型的高纯电子级化学品的料罐连接，用于多种类高纯电子级化学品分装，大大提升使用的方便性。