[实用新型]用于透射电镜样品的多规格显微镜联动分析样品台

摘要

本实用新型提供了一种用于透射电镜样品的多规格显微镜联动分析样品台，该样品台包括单元体、仪器兼容外壳、装配器。其中，单元体对TEM grid起到承载、固定作用；仪器兼容外壳有多种规格，其形状分别与所使用的仪器相适配，可固定单元体进而适用于不同的仪器中，实现多种仪器联用分析；装配器上开设三个固定槽，可直接固定TEM grid，也可固定单元体和仪器兼容外壳。本技术以TEM grid为基础，通过模块化的外部结构设计实现了对不同仪器的兼容，一次装入TEM grid后仅需更换相应的仪器兼容外壳即可在多个仪器之间联用。作为一种通用样品台方案，本技术适用于二维材料从转移制备到PLM观察、AFM表征、SEM分析的全过程，充分增强了实验的便利性并提高了实验效率。