[实用新型]一种激光切割机夹具有效
| 申请号： | 202121136125.9 | 申请日： | 2021-05-25 |
| 公开（公告）号： | CN214978861U | 公开（公告）日： | 2021-12-03 |
| 发明（设计）人： | 陈峰;洪章源 | 申请（专利权）人： | 厦门陆远科技有限公司 |
| 主分类号： | B23K37/04 | 分类号： | B23K37/04;B23K26/70;B23K26/38 |
| 代理公司： | 厦门律嘉知识产权代理事务所(普通合伙) 35225 | 代理人： | 李增进 |
| 地址： | 361000 福建省厦门市厦门火炬高新区(翔安)产*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种激光切割机夹具，包括设置在激光切割机下方并用于放置晶圆的放置板以及设置在放置板下方用于将晶圆吸附固定在放置板上的抽气机构，所述放置板上设有密集分布的若干通气孔。本实用新型的放置板上设有密分布的通气孔，晶圆放置在放置板上后会遮挡住部分通气孔，这部分的通气孔与抽气机构配合形成对晶圆的吸附点，使得晶圆被吸附固定在放置板上，晶圆不易发生位移，可以提高激光切割的精度，同时，本实用新型可以免除夹具对激光切割的干扰，使用方便，可以提高晶圆切割加工的良品率。此外，本实用新型可以适配不同规格大小的晶圆切割加工，实用性强。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 激光 切割机 夹具 | ||
【主权项】：
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