[实用新型]一种用于真空镀膜机的观察窗有效
| 申请号： | 202121145486.X | 申请日： | 2021-05-26 |
| 公开（公告）号： | CN218539815U | 公开（公告）日： | 2023-02-28 |
| 发明（设计）人： | 李成林;杜雪峰;郝明 | 申请（专利权）人： | 泊肃叶科技（沈阳）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/52 | 分类号： | C23C14/52;C23C14/24;C23C14/54 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 110142 辽宁省沈阳市*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于真空镀膜机的观察窗，主要包括座体、窗玻璃、压盖和保护装置；座体设置在真空镀膜机的真空室壁上或镀膜机门上，座体内腔与真空室相通；窗玻璃安装在座体内腔的一端，并通过压盖压紧；保护装置包括旋转体和手柄转动机构。座体内腔为圆柱形或圆台形；保护装置的旋转体设置在座体内腔中。旋转体为球状，旋转体的外缘与座体内腔相切；旋转体可在手柄转动机构的驱动下在座体内腔内旋转，旋转体的旋转角度在0°至90°；旋转体内设置有喇叭状的观察通道，观察通道贯穿旋转体。保护装置可保护观察窗免受膜材附着造成的污染。通过调节旋转体的旋转角度，还可以调节变换真空室内的观察区域。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 真空镀膜 观察窗 | ||
【主权项】：
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