[实用新型]清理装置及蒸镀机有效
| 申请号： | 202121150023.2 | 申请日： | 2021-05-26 |
| 公开（公告）号： | CN215391382U | 公开（公告）日： | 2022-01-04 |
| 发明（设计）人： | 杨佳伟;孙凌霄;朱浩南 | 申请（专利权）人： | 广东聚华印刷显示技术有限公司 |
| 主分类号： | B08B9/08 | 分类号： | B08B9/08;B08B13/00;C23C14/24 |
| 代理公司： | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人： | 杨艇要 |
| 地址： | 510700 广东省广州市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请实施例公开了一种清理装置及蒸镀机，蒸镀机包括腔室、点源坩埚和清理装置，点源坩埚和清理装置设置在腔室内，点源坩埚上设置有开口；清理装置位于点源坩埚的一侧；清理装置包括底座、驱动机构和清理组件，驱动机构设置在底座上；清理组件连接于所述驱动机构，清理组件包括清理部件，清理部件用于清理所述开口。本实施例通过在腔室内设置清理装置，采用清理装置清理点源坩埚的开口，提高了清理点源坩埚的开口的效率。 | ||
| 搜索关键词： | 清理 装置 蒸镀机 | ||
【主权项】：
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