[实用新型]一种真空镀膜机的离子辅助装置有效
| 申请号： | 202121160503.7 | 申请日： | 2021-05-27 |
| 公开（公告）号： | CN214830634U | 公开（公告）日： | 2021-11-23 |
| 发明（设计）人： | 杨明政 | 申请（专利权）人： | 中山市兴盛光学五金有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32 |
| 代理公司： | 广州艾维专利商标代理事务所(普通合伙) 44739 | 代理人： | 黄强 |
| 地址： | 528437 广东省中*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型属于真空镀膜机技术领域，具体涉及一种真空镀膜机的离子辅助装置，包括离子辅助装置保护罩，所述离子辅助装置保护罩的内部设置有离子蒸发装置，所述离子蒸发装置的一侧固定设有安装架，所述安装架的顶部设置有粒子发射源，本实用新型设置了相互配合的粒子发射源、主导链接管、离子蒸发装置和离子辅助装置保护罩，即通过控制器设置需要输出流量，控制系统会依据控制器设置需要输出流量计算离子辅助装置所需要的电流，然后通过控制器自动传送给离子发装置，通过这样的设置让离子辅助装置减少发热小、减少环境影响、无污染，可极大提升膜层的稳定性、附着力、致密度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空镀膜 离子 辅助 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中山市兴盛光学五金有限公司，未经中山市兴盛光学五金有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202121160503.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
