[实用新型]一种UVLED光源的聚光装置及平行曝光光源系统有效
申请号: | 202121185682.X | 申请日: | 2021-05-31 |
公开(公告)号: | CN214751325U | 公开(公告)日: | 2021-11-16 |
发明(设计)人: | 余燕青;杜志航 | 申请(专利权)人: | 东莞市友辉光电科技有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
代理公司: | 东莞市创益专利事务所 44249 | 代理人: | 许彬 |
地址: | 523000 广东省*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种UVLED光源的聚光装置,具有椭球面镜,椭球面镜设有凹弧状的反光面及在反光面上形成的几何中心;光源设置在椭球面镜的几何中心处且朝反光方向延伸呈柱状,光源包括有若干UVLED灯珠,UVLED灯珠在第二高度范围内围绕光源设定的光源轴线排列布置;UVLED灯珠发光经过椭球面镜的反光面反射聚焦,获得聚焦光斑,该聚焦光斑与几何中心的连线恰好与光源轴线重合。本实用新型将该光斑用于曝光作业,获得光线强度均衡、角度一致的平行曝光光,光线强度均衡,角度一致,达到高精度的图形曝光显影加工,适合制作精细线路;且曝光线路相对简单,减少曝光光源占地面积,用于显示面板曝光加工,提升曝光质量及效率。 | ||
搜索关键词: | 一种 uvled 光源 聚光 装置 平行 曝光 系统 | ||
【主权项】:
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