[实用新型]基于颗粒硅的单晶棒制备装置有效
| 申请号： | 202121187684.2 | 申请日： | 2021-05-27 |
| 公开（公告）号： | CN215209692U | 公开（公告）日： | 2021-12-17 |
| 发明（设计）人： | 张孝山;汪成洋;陈斌;甘易武 | 申请（专利权）人： | 青海亚洲硅业半导体有限公司;亚洲硅业（青海）股份有限公司;青海省亚硅硅材料工程技术有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B15/14;C30B15/02;C30B15/10;C30B29/06 |
| 代理公司： | 成都华风专利事务所(普通合伙) 51223 | 代理人： | 张巨箭 |
| 地址： | 810007 青*** | 国省代码： | 青海;63 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种基于颗粒硅的单晶棒制备装置，包括炉室和位于炉室内部的：盛料容器，内部放置有颗粒硅，底部开口设置有控制挡板；导料滑道，上端位于底部开口正下方；熔区，位于导料滑道下端的正下方；加热线圈，位于熔区外围；单晶棒拉制模组，位于熔区正上方。本实用新型的，操作方便，利用颗粒硅重力通过滑道的方式自由落到熔区上；由于颗粒硅外形为圆形，自由下落过程中对颗粒硅表面无沾污污染；滑落不需要其他外力，自身重力下滑至熔区上，定位准确。另外，逐颗下落粘连在底部熔区上，可以保持底部熔区温度不被降低，熔区始终保持在高温中，可以连续按颗进行化料，提高化料效率，操作可控，每颗颗粒硅依次通过控制挡板，依次下落。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 颗粒 单晶棒 制备 装置 | ||
【主权项】：
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