[实用新型]一种载板位置检测装置有效
| 申请号： | 202121200335.X | 申请日： | 2021-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN215114588U | 公开（公告）日： | 2021-12-10 |
| 发明（设计）人： | 倪鹏玉;张建德;徐尔强;陈墩权 | 申请（专利权）人： | 福建金石能源有限公司 |
| 主分类号： | G01D5/26 | 分类号： | G01D5/26 |
| 代理公司： | 北京中济纬天专利代理有限公司 11429 | 代理人： | 张磊 |
| 地址： | 362200 福建省泉州市*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种载板位置检测装置，它包括穿设固定于真空腔室壁面上的固定管座组件、设于固定管座组件外端的反射式激光传感器以及将反射式激光传感器与固定管座组件固定连接以收发进入真空腔室的激光信号的传感安装组件。本实用新型的目的在于提供一种载板位置检测装置，其结构简单，降低设备成本，有效避免碎片等物遮挡的问题，且便于维护。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 位置 检测 装置 | ||
【主权项】：
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