[实用新型]具有除氧化物结构的旋转靶材绑定装置有效
| 申请号： | 202121204118.8 | 申请日： | 2021-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN214881800U | 公开（公告）日： | 2021-11-26 |
| 发明（设计）人： | 雷雨;周志宏;肖世洪;周昭宇;汪政军;刘芳 | 申请（专利权）人： | 广州市尤特新材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;B22D19/04 |
| 代理公司： | 广州永华专利代理有限公司 44478 | 代理人： | 唐立辉 |
| 地址： | 510880 广东省广州*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及磁控溅射靶材制备技术领域，特别涉及一种具有除氧化物结构的旋转靶材绑定装置，其具有硬质波纹片，环状靶管套在背管外的状态下，所述硬质波纹片能以同时接触背管外壁和靶管内壁的方式设在背管与靶管之间的间隙内。该具有除氧化物结构的旋转靶材绑定装置自下而上地注入铟液，且在注入铟液前先将硬质波纹片伸入背管与靶管之间的间隙，利用硬质波纹片的边角刮擦背管外表面和靶管内表面，除去两者上的氧化铟层(或其他氧化物)，提升铟与靶材/背管的贴合率。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 氧化物 结构 旋转 绑定 装置 | ||
【主权项】：
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