[实用新型]13槽insert存放工装有效

专利信息
申请号: 202121207678.9 申请日: 2021-06-01
公开(公告)号: CN214898357U 公开(公告)日: 2021-11-26
发明(设计)人: 李建辉 申请(专利权)人: 厦门市威彦金属制品有限公司
主分类号: H01L21/673 分类号: H01L21/673
代理公司: 北京棘龙知识产权代理有限公司 11740 代理人: 张开
地址: 361000 福建省厦门市自由*** 国省代码: 福建;35
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摘要: 实用新型公开了一种13槽insert存放工装,包括两个U形架,两个U形架中位于前侧的U形架的前侧固定连接有三个支脚,所述U形架的两侧内壁上均开设有顶部、前侧和后侧为开口设置的放置槽,前后相对的两个放置槽内活动放置有同一个挡盘,两个挡盘相互靠近的一侧均设置有多个顶部和底部为开口设置的插放凹槽,所述U形架的两侧均设为弧形结构,U形架的底部设置为平面结构。本实用新型设计合理,便于对多个晶圆产品集中收集的同时并进行单独分隔放置,且便于根据不同规格直径的晶圆产品快速调整两个挡盘之间和两个转轴之间的间距,达到能够适用不同规格直径的晶圆产品收集放置,提高适用范围,满足使用需求,有利于使用。
搜索关键词: 13 insert 存放 工装
【主权项】:
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