[实用新型]一种化学气相沉积气体导流机构有效
申请号: | 202121239219.9 | 申请日: | 2021-06-03 |
公开(公告)号: | CN214881817U | 公开(公告)日: | 2021-11-26 |
发明(设计)人: | 董海青;申鹏 | 申请(专利权)人: | 深圳市创智捷科技有限公司 |
主分类号: | C23C16/455 | 分类号: | C23C16/455 |
代理公司: | 北京中政联科专利代理事务所(普通合伙) 11489 | 代理人: | 黄娟 |
地址: | 518000 广东省深圳市宝安区航城街*** | 国省代码: | 广东;44 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 一种化学气相沉积气体导流机构,涉及化学气相沉积设备技术领域,包括布气筒、上盖、进气管、支撑件、安装板、安装管、安装柱和分流罩;布气筒为底端封闭的圆筒结构,布气筒底部均匀设置有多个出气孔;上盖设置在布气筒上端;进气管设置在上盖上,进气管与布气筒连通,进气管位于上盖中部;支撑件设置在布气筒内壁上,支撑件为上下开口且中空的圆台结构,支撑件上均匀设置有多个第一通孔;安装板设在支撑件上端面,安装板上设置有多个第二通孔;安装管设置在安装板上,安装管位于进气管下方;安装柱卡接在安装管内;分流罩设置在安装柱上端。本实用新型使得膜厚测试更为简单方便,制作成本低,降低了气流大小不均匀对气体沉积膜厚度造成的影响。 | ||
搜索关键词: | 一种 化学 沉积 气体 导流 机构 | ||
【主权项】:
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的