[实用新型]一种化学气相沉积气体导流机构

摘要

一种化学气相沉积气体导流机构，涉及化学气相沉积设备技术领域，包括布气筒、上盖、进气管、支撑件、安装板、安装管、安装柱和分流罩；布气筒为底端封闭的圆筒结构，布气筒底部均匀设置有多个出气孔；上盖设置在布气筒上端；进气管设置在上盖上，进气管与布气筒连通，进气管位于上盖中部；支撑件设置在布气筒内壁上，支撑件为上下开口且中空的圆台结构，支撑件上均匀设置有多个第一通孔；安装板设在支撑件上端面，安装板上设置有多个第二通孔；安装管设置在安装板上，安装管位于进气管下方；安装柱卡接在安装管内；分流罩设置在安装柱上端。本实用新型使得膜厚测试更为简单方便，制作成本低，降低了气流大小不均匀对气体沉积膜厚度造成的影响。