[实用新型]一种碳化硅涂层装备

摘要

本实用新型公开了一种碳化硅涂层装备，包括气相沉积炉体和收纳箱，所述收纳箱设置在气相沉积炉体的一侧，所述气相沉积炉体内部自下而上设置有坩埚、沉积室、收料盒和导气管，所述沉积室、收料盒、导气管外包覆有加热器，所述加热器外部包覆有保温层，加热器和保温层分别起到加热和保温的作用，所述保温层的外部包覆有水冷夹套，水冷夹套用于给气相沉积炉体降温，收料盒上开设有连通沉积室和收料盒的第一通孔，收料盒内部设置有集尘室，所述集尘室的上方盖设有集尘室盖板，集尘室盖板上开设连通集尘室和收料盒的第二通孔；本实用新型能够简单有效的对排放的空气进行四级过滤，避免污染资源。