[实用新型]一种压电陶瓷式针座及探针台有效
| 申请号： | 202121266451.1 | 申请日： | 2021-06-08 |
| 公开（公告）号： | CN215833436U | 公开（公告）日： | 2022-02-15 |
| 发明（设计）人： | 吴贵阳;杨应俊 | 申请（专利权）人： | 矽电半导体设备（深圳）股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/04 | 分类号： | G01R1/04;G01R1/067 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518172 广东省深圳市龙岗区龙城街*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种压电陶瓷式针座及探针台。所述压电陶瓷式针座用于对芯粒进行扎针测试；所述压电陶瓷式针座包括基部和探针部，所述探针部用于安装对芯粒进行测试的探针，所述探针部通过压电陶瓷驱动器连接于基部；并在垂直于压电陶瓷驱动器分别连接于探针部和基部的连线方向，对压电陶瓷驱动器连接有电信号；通过对所述压电陶瓷驱动器的电信号控制，实现对探针部相对基部运动的控制，使探针止抵芯粒/远离芯粒；所述探针台设置有所述压电陶瓷式针座。探针的运动控制精度高，针痕一致性稳定，芯粒测试结果准确可靠。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 压电 陶瓷 式针座 探针 | ||
【主权项】：
暂无信息
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