[实用新型]局部放电测试用的陶瓷基板固定治具

摘要

本实用新型涉及半导体制造技术领域。局部放电测试用的陶瓷基板固定治具，包括底座，底座包括从下至上设置的电极底座、下弹性层以及下金属片，下金属片设有向下延伸的下延伸条，下延伸条与电极底座接触连接，电极底座的材料是导电材料；还包括盖板，盖板包括从上至下设置的探针盖板、上弹性层以及上金属片，上金属片设有向上延伸的上延伸条，上延伸条与探针盖板接触连接，探针盖板的材料是导电材料；底座与盖板之间用于夹持陶瓷基板。本专利可针对翘曲度较大的覆铜陶瓷基板进行局放测试。通过上金属片实现了金属陶瓷基板孤岛状金属单元导通，实现了一次性测试整片母板，实现了金属陶瓷基板局放高效测试。