[实用新型]一种新型碳化硅退火炉高温腔体有效
| 申请号： | 202121311197.2 | 申请日： | 2021-06-11 |
| 公开（公告）号： | CN214950660U | 公开（公告）日： | 2021-11-30 |
| 发明（设计）人： | 王志盾 | 申请（专利权）人： | 青岛金立盾电子设备有限公司 |
| 主分类号： | F27D9/00 | 分类号： | F27D9/00 |
| 代理公司： | 山东易佰捷知识产权代理事务所(普通合伙) 37326 | 代理人： | 张晓 |
| 地址： | 266000 山东*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种新型碳化硅退火炉高温腔体，涉及半导体制造相关用具技术领域。本实用新型包括腔体本体、安装机构和连接机构，腔体本体商标卖女中部固定连接有安装机构，安装机构包括安装块和连接钢槽，安装块之间的两侧上部固定连接有连接钢槽；腔体本体一端上中部紧固连接有连接机构，且连接机构包括连接筒和法兰盘，法兰盘固定连接在连接筒的内端。本实用新型通过设置安装机构和连接机构，具有节约工作场地空间和便于对鼓风机维修更换的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 新型 碳化硅 退火炉 高温 | ||
【主权项】：
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