[实用新型]一种钙钛矿太阳能电池组件薄膜沉积设备

摘要

本实用新型涉及一种钙钛矿太阳能电池组件薄膜沉积设备，包括传送带、进仓过渡舱、主真空舱、电子束沉积舱、化学气相沉积舱、热蒸发沉积舱和出仓过渡舱，主真空舱的左侧与进仓过渡舱连接，其右侧与出仓过渡舱连接，电子束沉积舱、化学气相沉积舱、热蒸发沉积舱依次设置于主真空舱的上部，传送带横穿进仓过渡舱、主真空舱及出仓过渡舱，其上分别设置有若干支撑台，主真空舱内对应地各沉积舱下方分别设有升降机构，进仓过渡舱的入口、出仓过渡舱的出口以及各舱与真空舱的之间均设有单独控制开闭的舱门，从而待处理产品在各个舱位进行对应处理时，不会相互影响，利于加强沉积组件的界面接触，提升组件的光电转换性能与稳定性。