[实用新型]一种制备液态聚碳硅烷先驱体材料的装置

摘要

本实用新型公开了一种制备液态聚碳硅烷先驱体材料的装置，其结构包括填料塔、氯甲基三氯硅烷储罐、甲醇储罐、氮气罐、气化器和再沸器，填料塔的内腔上设置有纵向设置的至少3层填料部，氯甲基三氯硅烷储罐的出口连接在填料塔位于最顶端的填料部的上方，甲醇储罐的出口与气化器相连接，氮气罐的一端与气化器连接，氮气罐的另一端连接在填料塔位于最底端的填料部与再沸器之间，气化器的出口设置有至少3个支路，每一支路的出口均连接在每一填料部的底部上，再沸器设置在填料塔的底部上，再沸器的底部连接有成品罐，填料塔的顶部设置有尾气吸收循环系统。