[实用新型]一种用于芯体化学气相沉积法制作介质薄膜的工装

摘要

本实用新型适用于溅射薄膜传感器敏感芯体制作领域，提供了一种用于芯体化学气相沉积法制作介质薄膜的工装，包括上卡盘和下底盘，还包括：放置组件，所述放置组件位于上卡盘上，所述放置组件用于承载压力传感器芯体；以及定位组件，所述定位组件位于上卡盘上，所述定位组件通过卡槽的方式对放置组件的安装起到导向作用。使用时，将压力传感器芯体放置在放置组件内，支撑组件将放置组件撑起，防止在放置压力传感器芯体时压力传感器芯体表面被污染，影响成膜的质量，定位组件在放置组件安装时保证放置组件安装准确，提高放置组件安装效率和提高制膜的效率。