[实用新型]膜厚控制工装有效
| 申请号： | 202121418572.3 | 申请日： | 2021-06-24 |
| 公开（公告）号： | CN215251153U | 公开（公告）日： | 2021-12-21 |
| 发明（设计）人： | 徐生辉;王爱民 | 申请（专利权）人： | 曼德电子电器有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54;C23C16/52 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 孙立波 |
| 地址： | 072550 河北省保*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种膜厚控制工装，膜厚控制工装适于放置在镀膜装置与待镀膜结构之间，膜厚控制工装与待镀膜结构的待镀膜面随型设置，膜厚控制工装上开设有多个透射孔，其中，与待镀膜面上的靠近镀膜装置的部分正对的部分膜厚控制工装上的透射孔的开设密度小于与待镀膜面上的远离镀膜装置的部分正对的部分膜厚控制工装上的透射孔的开设密度。该膜厚控制工装能够有效的解决由于镀膜距离不同而产生的镀膜材料的沉积速率差异的问题，以使得待镀膜面各处具有相对一致的沉积速率，从而使得待镀膜面各处的膜厚能够均匀一致。 | ||
| 搜索关键词： | 控制 工装 | ||
【主权项】：
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