[实用新型]MEMS声传感器有效
| 申请号： | 202121452074.0 | 申请日： | 2021-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN215581695U | 公开（公告）日： | 2022-01-18 |
| 发明（设计）人： | 但强;周一苇;程诗阳;李杨 | 申请（专利权）人： | 瑞声开泰科技(武汉)有限公司;瑞声声学科技（深圳）有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04;B81B7/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 430200 湖北省武汉市*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种MEMS声传感器MEMS声传感器，其包括具有腔体的基底以及固定在基底上的若干结构层，每一所述结构层包括固定于所述基底的固定端以及自所述固定端延伸至悬置于所述腔体上方的悬置端，所述悬置端与所述基底间隔和/或相邻所述悬置端间隔形成狭缝，所述MEMS声传感器还包括设于所述悬置端上的压电功能层以及完全覆盖所述狭缝的柔性连接件，所述柔性连接件的杨氏模量小于所述结构层的杨氏模量。与相关技术相比，本实用新型的MEMS声传感器声学性能好。 | ||
| 搜索关键词： | mems 传感器 | ||
【主权项】：
暂无信息
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