[实用新型]一种晶圆片尺寸检测仪器有效
| 申请号： | 202121461986.4 | 申请日： | 2021-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN214951147U | 公开（公告）日： | 2021-11-30 |
| 发明（设计）人： | 陈峰;洪章源 | 申请（专利权）人： | 厦门陆远科技有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06;G01B11/08;G01B5/06 |
| 代理公司： | 厦门律嘉知识产权代理事务所(普通合伙) 35225 | 代理人： | 李增进 |
| 地址： | 361000 福建省厦门市厦门火炬高新区(翔安)产*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种晶圆片尺寸检测仪器，包括基座、设置在基座顶部用于放置晶圆片的载物盘以及用于测量晶圆片尺寸的直径检测结构与厚度检测结构，所述的直径检测结构包括若干个第一测距装置以及环绕载物盘设置在基座顶端面的两横向导轨与两纵向导轨，若干个所述的第一测距装置两两相对设置并滑动安装在两横向导轨或者两纵向导轨上且高度与晶圆片放置位置相对应，所述的厚度检测结构包括设置在载物盘上方的第二测距装置以及用于固定第二测距装置的固定架，所述固定架的底部与基座相固定且位于直径检测结构外侧。本实用新型能够平稳地对晶圆片直径与厚度进行测量，受到人工操作的干扰较小，便于多次采样检测。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 晶圆片 尺寸 检测 仪器 | ||
【主权项】：
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