[实用新型]一种多温区开合晶体炉有效
| 申请号： | 202121466486.X | 申请日： | 2021-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN215328446U | 公开（公告）日： | 2021-12-28 |
| 发明（设计）人： | 张生国;蔡慧敏;秦人斌;张生贤;甘昌源;吉凯思;刘其展 | 申请（专利权）人： | 八龙应用材料科技（海南）有限公司 |
| 主分类号： | C30B11/00 | 分类号： | C30B11/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 陈欢 |
| 地址： | 570100 海南省海口市美兰区*** | 国省代码： | 海南;46 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种多温区开合晶体炉，包括开闭设置的炉体，所述炉体内竖直设有加热腔体，所述加热腔体的两端设有开口；所述加热腔体内竖直设有多组串联的电阻线圈；每组所述电阻线圈上位于所述炉体外端设置有接线端；所述接线端上设有控制开关；所述炉体内竖直间隔设有多个用于测量所述炉体温度的温度测量元件；通过在设置可开闭的炉体，以实现对单晶炉进行打开和闭合，工件装炉可视化，便于对炉体内的工件进行操作，炉膛保温性能和隔热节能性好，晶体成品率高，且电阻线圈安装和拆卸方便，便于日常维护和炉膛清理；同时，通过设置多组电阻线圈，以结合控制开关来控制输出功率，以实现对炉膛内的电阻线圈进行多温区加热，温度控制灵活性高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多温区开合 晶体 | ||
【主权项】：
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