[实用新型]间距调节机构及成排硅片移载机构

摘要

本申请涉及一种间距调节机构及成排硅片移载机构，间距调节机构包括固定板、导轨支架、多个取物组件和活动板。导轨支架固定于固定板一侧；导轨支架包括横向导轨和竖向导轨；取物组件可活动地设于导轨支架上，取物组件能够沿横向导轨移动；活动板可活动地设于导轨支架上，活动板能够沿竖向导轨移动；活动板开设有多个沿活动板的竖向延伸的条形的导向孔，多个导向孔呈扇形发散分布；取物组件包括朝向活动板设置的导柱，导柱一一对应地插入导向孔内，并能够沿着导向孔移动。该间距调节机构能够在移载过程中对硅片进行间距调节，大大提高了移载效率。