[实用新型]一种真空蒸镀机的镀锅轨道保护结构有效
| 申请号： | 202121471029.X | 申请日： | 2021-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN215163091U | 公开（公告）日： | 2021-12-14 |
| 发明（设计）人： | 薛蒙晓 | 申请（专利权）人： | 苏州佑伦真空设备科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/24 |
| 代理公司： | 苏州彰尚知识产权代理事务所(普通合伙) 32336 | 代理人： | 赵成磊 |
| 地址： | 215000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本申请提供一种真空蒸镀机的镀锅轨道保护结构，所述镀锅轨道保护结构位于真空蒸镀机的镀锅圆环形轨道的下方，镀锅轨道保护结构和镀锅圆环形轨道均位于真空蒸镀机的腔室的上部，镀锅圆环形轨道为圆环形的水平轨道，镀锅能够沿着所述镀锅圆环形轨道进行自转和公转，所述镀锅轨道保护结构包括底面、内侧面和外侧面，所述底面为水平的圆环形薄片，内侧面与外侧面为分别垂直固定在底面的里边沿与外边沿上的圆环形薄片，镀锅圆环形轨道设置在镀锅轨道保护结构内，内侧面与外侧面之间的距离大于镀锅圆环形轨道的宽度，内侧面和外侧面的高度大于等于镀锅圆环形轨道的厚度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空 蒸镀机 轨道 保护 结构 | ||
【主权项】：
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