[实用新型]一种固化炉有效
| 申请号： | 202121485436.6 | 申请日： | 2021-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN215695519U | 公开（公告）日： | 2022-02-01 |
| 发明（设计）人： | 孙志;陈海虎;曾昭孔;陈武伟 | 申请（专利权）人： | 苏州通富超威半导体有限公司 |
| 主分类号： | B05D3/02 | 分类号： | B05D3/02 |
| 代理公司： | 北京志霖恒远知识产权代理事务所(普通合伙) 11435 | 代理人： | 郭栋梁 |
| 地址： | 215000 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种固化炉，包括炉体以及至少两组以并联运行方式被使用的增压机构，各组增压机构均包括增压缸，各增压缸分别与气源连通形成吸气回路，并在各吸气回路上设置控制阀，且各增压缸分别与所述炉体的内部连通形成排气回路。本申请的固化炉通过采用并联的至少两组增压机构，使得当处于工作状态的增压机构出现故障时，可以及时切换至备用的增压机构，一方面能够保证固化炉内部压力满足制程，最大程度地排出底部填充胶中的气泡，避免产生孔洞；另一方面能够确保固化生产线连续可靠运行，不用停机。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 固化 | ||
【主权项】：
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