[实用新型]磁控溅射夹持式旋转样品台有效
| 申请号： | 202121530688.6 | 申请日： | 2021-07-07 |
| 公开（公告）号： | CN215328337U | 公开（公告）日： | 2021-12-28 |
| 发明（设计）人： | 李玉宝;刘炳文;张威 | 申请（专利权）人： | 河北大学 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/50 |
| 代理公司： | 石家庄国域专利商标事务所有限公司 13112 | 代理人： | 李玉祥;胡澎 |
| 地址： | 071002 *** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种磁控溅射夹持式旋转样品台，包括有支撑杆，竖向设置；双向棘轮机构，设置在所述支撑杆上方，用于调节纵向角度；连接杆，设置在所述双向棘轮机构上，用于在所述双向棘轮机构的带动下进行纵向角度的调节；旋转电机，设置在所述连接杆下方，用于在镀膜过程对样品台进行旋转；样品台，设置在所述电机底部，用于固定目标基片；以及固定架，可上下调节地设置在所述样品台下方的所述支撑杆上，用于调节靶基距。本实用新型通过双向棘轮机构和连接杆，来实现样品台的纵向角度的调节，通过旋转电机来实现镀膜过程中样品台的旋转，从而保证薄膜的均匀性。通过调节固定架在支撑杆上的位置来实现靶基距的调节。 | ||
| 搜索关键词： | 磁控溅射 夹持 旋转 样品 | ||
【主权项】：
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