[实用新型]一种光刻机及其曝光机构有效
| 申请号： | 202121533154.9 | 申请日： | 2021-07-06 |
| 公开（公告）号： | CN215067718U | 公开（公告）日： | 2021-12-07 |
| 发明（设计）人： | 霍锦充 | 申请（专利权）人： | 东莞王氏港建机械有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京喆翙知识产权代理有限公司 11616 | 代理人： | 倪建娣 |
| 地址： | 523000 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及光刻机技术领域，更具体地说，它涉及一种光刻机及其曝光机构，该曝光机构包括机台、驱动机构、导向部、用于安装掩膜板的上模板和用于承载晶圆的下模板；所述上模板和下模板均用于安装在机台的上侧、且所述上模板为活动面板；所述驱动机构用于安装在机台的下侧，且用于驱动所述上模板升降，使上模板相对靠近或远离所述下模板；所述导向部用于对上模板的升降导向。根据本实用新型的方案，由于上模板可相对下模板升降，并且当上模板上升以远离下模板时，上模板与下模板之间的距离增大，如此具有方便取放晶圆的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光刻 及其 曝光 机构 | ||
【主权项】：
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