[实用新型]光电芯片测试装置有效
| 申请号： | 202121544108.9 | 申请日： | 2021-07-07 |
| 公开（公告）号： | CN216622581U | 公开（公告）日： | 2022-05-27 |
| 发明（设计）人： | 谢翔;吴宏;王丹 | 申请（专利权）人： | 威科赛乐微电子股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28;G01R1/067;G01M11/02 |
| 代理公司： | 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 | 代理人： | 黄宗波 |
| 地址： | 404000 重庆市*** | 国省代码： | 重庆;50 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及集成电路技术领域，公开了一种光电芯片测试装置，所述光电芯片测试装置包括：晶圆载盘、测试板、电信号发送模块、电信号接收模块、光信号接收模块以及处理器；所述电信号发送模块与所述正极焊盘电连接；所述电信号接收模块与所述负极焊盘电连接；所述光信号接收模块与设置于所述光电芯片上方的积分球电连接；所述处理器与所述电信号发送模块、电信号接收模块和光信号接收模块电连接。本实用新型技术方案避免了探针的针压过大损坏芯片，稳定了芯片测试时探针的针压，进而稳定了芯片测试的电压，提高了测试系统的可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 光电 芯片 测试 装置 | ||
【主权项】：
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