[实用新型]一种便于清洁的气相沉积炉

摘要

本实用新型涉及气相沉积炉领域，更具体的说是一种便于清洁的气相沉积炉。本便于清洁的气相沉积炉可以自动将炉体进行分离工作，从而便于对沉积炉内部设置的结构进行清洁。本装置的主要功能实现部分有整体结构、沉积结构和传送结构。其中沉积结构设置在整体结构上方，沉积结构与整体结构滑动连接，沉积结构设置在传送结构的下方，沉积结构与传送结构滑动连接，传送结构设置在整体结构上，传送结构与整体结构转动连接。整体结构是本装置的主要控制支持结构，能够承载支撑其余工作结构的正常作业；沉积结构主要实现化学气相沉积的反应过程，并且获得所需的沉积薄膜；传送结构主要为工作装置输送反应所需的混合气体，并且为工作装置提供水冷冷却效果。