[实用新型]一种薄膜拉伸对位曝光机构有效
| 申请号： | 202121553916.1 | 申请日： | 2021-07-08 |
| 公开（公告）号： | CN215729273U | 公开（公告）日： | 2022-02-01 |
| 发明（设计）人： | 袁大朋 | 申请（专利权）人： | 昆山爱克斯莫斯机械科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海宏京知识产权代理事务所(普通合伙) 31297 | 代理人： | 崔巍 |
| 地址： | 215335 江苏省苏州市昆山市昆山*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及薄膜生产技术领域，特别是涉及一种薄膜拉伸对位曝光机构，包括相机，还包括PLC控制器和两个分体式的第一底座和第二底座，所述相机设于第一底座和第二底座之间，第一底座上设有第一夹紧机构和第二夹紧机构，第二底座上设有第三夹紧机构和拉伸机构，所述拉伸机构包括第四夹紧机构和转盘，在所述第四夹紧机构两侧底部和第二底座之间还设有用于驱动第四夹紧机构沿转盘转动的动力机构，所述动力机构与相机均电连接于PLC控制器，通过利用动力机构配合拉伸机构对薄膜进行拉伸微调，可以将尺寸不一致的薄膜进行拉伸微调后实现精准曝光做图的效果，通过设置第一夹紧机构和第二夹紧机构共同固定薄膜，可以防止在薄膜拉伸过程中产生微动。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 薄膜 拉伸 对位 曝光 机构 | ||
【主权项】：
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