[实用新型]一种集成电路检测设备有效
| 申请号： | 202121569857.7 | 申请日： | 2021-07-09 |
| 公开（公告）号： | CN215415529U | 公开（公告）日： | 2022-01-04 |
| 发明（设计）人： | 赵坤鹏;杨征 | 申请（专利权）人： | 无锡伟测半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/04 | 分类号： | G01R1/04;G01R31/28 |
| 代理公司： | 无锡市汇诚永信专利代理事务所(普通合伙) 32260 | 代理人： | 苗雨 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种集成电路检测设备，包括机体，机体顶面设置有检测台，检测台上方设置有吸附组件，吸附组件通过位移装置与机体连接，吸附组件包括安装盘，安装盘上设置有多个第一吸盘单元和多个第二吸盘单元，各第一吸盘单元均通过第一软管与第一真空泵连接，各第二吸盘单元均通过第二软管与第二真空泵连接，安装盘上还设置有检测装置。本实用新型的多个第一吸盘单元和多个第二吸盘单元同时对集成电路进行吸附，并且第一吸盘单元和第二吸盘单元通过不同真空泵抽真空，实现了各吸盘单元的冗余设置，降低了集成电路发生掉落或者没有吸起情况的几率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 集成电路 检测 设备 | ||
【主权项】：
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