[实用新型]一种晶体生长炉的辅助装炉及校准装置有效
申请号: | 202121589876.6 | 申请日: | 2021-07-13 |
公开(公告)号: | CN215103679U | 公开(公告)日: | 2021-12-10 |
发明(设计)人: | 周世斌;林东科;吴志国 | 申请(专利权)人: | 成都东骏激光股份有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B35/00 |
代理公司: | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人: | 黄燕 |
地址: | 611600 四川*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 本实用新型提供了一种晶体生长炉的辅助装炉及校准装置,属于晶体生长器具技术领域。该辅助装炉及校准装置包括上平板和下平板;下平板的板面呈环形并具有环形实体部位,下平板的下表面用于与坩埚周围的温场的上表面抵接;上平板的下表面的至少部分区域与下平板的环形实体部位的上表面连接,上平板的下表面的未与下平板连接的下表面用于与坩埚口抵接。该辅助装炉及校准装置能够在确保温场安装一致性和准确性的同时,大大提高装炉效率,通过一次性对坩埚周围一圈直接进行同时校准,实现了直观、快捷地装炉和校准。 | ||
搜索关键词: | 一种 晶体生长 辅助 校准 装置 | ||
【主权项】:
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