[实用新型]一种半导体研磨设备的研磨液供给输送装置有效
| 申请号： | 202121604760.5 | 申请日： | 2021-07-15 |
| 公开（公告）号： | CN215789171U | 公开（公告）日： | 2022-02-11 |
| 发明（设计）人： | 张跃宝 | 申请（专利权）人： | 飞博思电子科技（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | B24B57/02 | 分类号： | B24B57/02 |
| 代理公司： | 北京权智天下知识产权代理事务所(普通合伙) 11638 | 代理人： | 牟望 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市金阊*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公布了一种半导体研磨设备的研磨液供给输送装置，包括立架，立架内安装有供液罐，工作台的顶部右侧连接有液压杆，液压杆的顶部活动端连接有升降座，升降座的顶部右侧连接有驱动电机，驱动电机的左侧动力输出端连接有锥齿轮，升降座的中部转动连接有竖轴，竖轴的外壁上部连接有锥齿圈，竖轴的轴心处开设有圆通孔，竖轴的下端连接有给液座，升降座的顶部左侧连接有固定架，固定架的上端连接有L型管，L型管横部连接有输送软管，输送软管伸入供液罐的一端连接有抽液泵，L型管竖部转动连接竖轴上端；本实用新型结构设计合理，便于进行研磨操作，能够对工件进行有效降温和润滑，更加节能环保。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体 研磨 设备 供给 输送 装置 | ||
【主权项】：
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