[实用新型]一种晶片退火炉有效
| 申请号： | 202121616227.0 | 申请日： | 2021-07-15 |
| 公开（公告）号： | CN215887316U | 公开（公告）日： | 2022-02-22 |
| 发明（设计）人： | 唐勇;吴春龙;吴晓桂;刘火阳 | 申请（专利权）人： | 广东先导微电子科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B33/02 | 分类号： | C30B33/02 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 韩静粉 |
| 地址： | 511517 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种晶片退火炉，包括炉体、抽真空装置、加热装置及控温装置，炉体包括由石英制成的下壳及上盖，下壳与上盖密封配合且下壳与上盖围成退火腔；抽真空装置用于使退火腔内达到预设真空度；加热装置用于对下壳和/或上盖进行加热；控温装置的测量端用于测量退火腔内的温度，控温装置的控温端与加热装置连接，控温装置的控温端根据控温装置的测量端的测量数据控制加热装置的启停或调节加热装置的功率；上述退火炉可在真空条件下同时进行多片晶片的退火，省去了焊接石英管及焊接后等待的时间，能够降低人工、物料、时间的浪费，有效避免由于裂管导致的晶片和石英管的损失。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 晶片 退火炉 | ||
【主权项】：
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