[实用新型]一种晶舟盒料盒缓冲固定结构有效
| 申请号： | 202121625272.2 | 申请日： | 2021-07-16 |
| 公开（公告）号： | CN214777658U | 公开（公告）日： | 2021-11-19 |
| 发明（设计）人： | 袁黔云 | 申请（专利权）人： | 深圳市迈捷微科技有限公司 |
| 主分类号： | B65D25/10 | 分类号： | B65D25/10;B65D81/113;B65D85/86 |
| 代理公司： | 深圳市圳博友邦专利代理事务所(普通合伙) 44600 | 代理人： | 陈烈军 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种晶舟盒料盒缓冲固定结构，包括外箱、箱盖以及晶舟盒中框，所述箱盖铰接安装于外箱的上端口一侧，且箱盖内顶部可拆卸固定安装有用于弹性抵接晶圆的压料尺板，同时，所述晶舟盒中框安装于外箱内，且外箱内底面固定有与晶舟盒中框底部插接配合的定位胶柱，以及与晶舟盒中框底部对应卡合的固定片。该晶舟盒料盒缓冲固定结构，结构合理，采用可拆卸的柔性尺板与晶圆抵接，提高了对晶圆的保护效果，并方便更换尺板，有利于节约成本，且可能将收纳的晶圆快速稳定的置于盒内，进一步提高了对晶圆的保护效果，并提高了转运效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 晶舟盒料盒 缓冲 固定 结构 | ||
【主权项】：
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